派瑞林
Parylene(派瑞林）是对二甲苯化合物的环形二聚体，也是直链型聚对二甲苯的单体，在四十年代后期有英国曼彻斯特大学研究高分子的一位化学家首次分离出，后来Union Carbide公司的科学家威廉戈罕开发了一种沉积方法来应用该产品成膜。它透明无色，并适用于常温条件下的真空镀膜加工，真空镀膜压力在10Torr-5Torr以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1µm-100µm之间，该涂层是美国在上世纪60年代中期开发的专利，首次应用于美国军用印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美国军用标准：MIL-I-46058C。
